MEMS甲烷气体传感器

产品介绍：

MEMS甲烷气体传感器是主要用于检测环境中可燃气体气体浓度的MEMS气体传感器。MEMS甲烷气体传感器采用固体金属氧化物半导体材料作为气敏元件，SI基衬底.上的微热板是采用MEMS工艺制作的。该甲烷气体传感器可把不同功能、不同敏感方向或致动方向的多个传感器或执行器集成于一体。适用于除了恶劣环境外各种场合的甲烷气体浓度检测。

产品参数：

检测气体：甲烷气体

可燃气体测量范围：0-10000ppm

回路电压Vc：≤24V DC

加热电压VH：2.8V士0.1V AVorDC

负载电阻RL：可调

加热电阻RH：80Ω土20Ω(室温)

加热功耗PH：≤80mW

敏感体电阻Rs：1KΩ~30KΩ

灵敏度S：RO/RS≥2

浓度斜率a：≤0.9

温度：20°C士2°C

湿度：55%RH土5%RH

标准测试电路：VH:2.8V士0.1V，VC:5.0V士0.1V