MEMS甲烷气体传感器

MEMS甲烷气体传感器

MEMS甲烷气体传感器是主要用于检测环境中气体气体浓度的MEMS气体传感器。MEMS气体传感器采用固体金属氧化物半导体材料作为气敏元件，SI基衬底.上的微热板是采用MEMS工艺制作的。该气体传感器可把不同功能、不同敏感方向或致动方向的多个传感器或执行器集成于一体。适用于除了恶劣环境外各种场合的可燃气体浓度检测。

产品介绍：

MEMS甲烷气体传感器是主要用于检测环境中可燃气体气体浓度的MEMS气体传感器。MEMS甲烷气体传感器采用固体金属氧化物半导体材料作为气敏元件，SI基衬底.上的微热板是采用MEMS工艺制作的。该甲烷气体传感器可把不同功能、不同敏感方向或致动方向的多个传感器或执行器集成于一体。适用于除了恶劣环境外各种场合的甲烷气体浓度检测。