氢气MEMS气体传感器

氢气MEMS气体传感器是为了降低使用成本、方便家用而研发的氢气传感器。氢气MEMS气体传感器采用微型化设计，谐振频率高，功耗低，响应时间短，提高了传感器本身的灵敏度。利用MEMS工艺制作微热板，并所使用的气敏材料是在清洁空气中电导率较低的金属氧化物半导体材料作。适用于家用等检测氢气气体浓度的场合。