MEMS VOC气体传感器

MEMS VOC气体传感器是根据MEMS工艺来实现VOC气体浓度在线监测的VOC传感器。MEMS VOC气体传感器采用的气敏材料是在清洁空气中电导率较低的金属氧化物半导体材料，对VOC的灵敏度高。使用简单的电路即可将电导率的变化转换为与该气体浓度相对应的输出信号。该VOC变送器具有体积小、功耗低、响应速度快、稳定性好、寿命长久等特点。